Лопатин И.В. Ахмадеев Ю.Х. Петрикова Е.А. Крысина О.В. Игнатов Д.Ю.
Система для ионно-пучковой обработки поверхности на основе несамостоятельного тлеющего разряда с полым катодом
Докладчик: Лопатин И.В.
В статье представлена система для ионно-лучевой обработки поверхности, осо-бенностью которой является наличие двух источников: газовой плазмы на основе неса-мостоятельного дугового разряда с накаленным и полым катодом и ионного пучка на основе несамостоятельного тлеющего разряда с полым катодом, оба источника оснаще-ны независимыми системами газового и электрического питания. Принцип работы си-стемы заключается в следующем: источник газовой плазмы, конструктивно выполнен-ный на базе плазмогенератора «ПИНК» [1], обеспечивает генерацию плазмы в объеме вакуумной камеры, являющейся полым анодом, электроны из этой плазмы инжектиру-ются в полый катод источника ионов оснащенного собственным анодом через сетку, че-рез нее же в обратном направлении инжектируются ионы и из полого катода в рабочую вакуумную камеру. Таким образом, обрабатываемые детали, размещенные в рабочей камере напротив эмиссионной сетки, оказываются под воздействием как ионного потока с независимо регулируемой энергией, так и газовой плазмы с регулируемой концентра-цией. Это обеспечивает компенсацию заряда ионов на обрабатываемой поверхности электронами из объемной плазмы генератора «ПИНК», что открывает возможность ион-но-пучковой обработки диэлектрических поверхностей. Применение раздельного напус-ка газов позволяет реализовывать ионное травление с использованием инертных газов (например аргона), ионное плазмо-химическое травление с использованием активных газов (например кислорода), а также нанесение a-C-H покрытий, с использованием уг-леродосодержащих газов (например ацетилена) практически без воздействия агрессив-ных газов на накаленный катод плазмогенератора, что существенно увеличивает срок службы этого катода. В статье приведены основные характеристики разрядной системы источника ионов, а также примеры реализации перечисленных выше видов ионно-пучковой обработки.
СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ
1. I.V. Lopatin, Yu.H. Akhmadeev, N.N. Koval. – Effect of thermionic cathode heating current self-magnetic field on gaseous plasma generator characteristics // Rev. Sci. Instrum. 2015. Vol. 86, Issue 10, 103301(1-8).
| Файл тезисов: | Лопатин.docx |
К списку докладов